液氩

液氩

在半导体制造工艺中用于化学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、离子注入、载气、烧结等。

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产品描述

　　液氩(Liquid Argon)是一种无色、无味、窒息性的惰性气体，以下是其产品介绍参数：

　　基本参数

　　- 化学式：Ar

　　- 分子量：39.95

　　物理性质

　　- 熔点：$-189.2℃$

　　- 沸点：$-185.7℃$

　　- 水溶性：微溶于水

　　- 密度：相对密度(水=1)1.40(-186℃)

　　主要用途

　　- 广泛应用于焊接、不锈钢制造、冶炼等领域。

　　- 在半导体制造工艺中用于化学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、离子注入、载气、烧结等。

　　- 用作ICP、气相色谱仪等仪器的载气、标准气、平衡气等。

　　健康危害

　　- 高浓度时可能导致窒息，液态氩可致皮肤冻伤，眼部接触可引起炎症。

　　操作注意事项

　　- 禁止热源、火种并实施密闭操作，加强通风;操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。接触液氩时，应戴防护服、防护手套、半面式面罩。

　　液氩因其独特的物理化学性质，在多个领域有着广泛的应用，是一种重要的工业气体。

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